DhZZ系列中频加离子镀膜机
镀膜室尺寸Ф700×H900mmФ900×H1100mmФ1000×H1200mmФ1250×H1350mmФ1500×H1350mm
电源类型电弧电源、灯丝电源、脉冲偏压电源、直流磁控电源、中频磁控电源、射频磁控电源、线性离化源
真空室结构立式前开门结构、后置抽气系统、双层水冷腔室
真空室材质优质不锈钢材质腔体
极限真空8.0×10-4Pa
抽气时间
(空载）从大气抽至8.0×10-3Pa≤15分钟
真空获得系统扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）
镀膜方式电弧镀膜+磁控溅射镀膜
制膜颜色透光膜：烟***、香槟色、干邑色、酒红色、幻彩色、琥珀色等 不透光膜：金色、古铜色、银白色、咖啡色、枪***等
磁控靶类型矩形磁控靶、圆柱形磁控靶、孪生磁控对靶
磁控电源功率及磁控靶数量根据不同镀膜工艺和客户的需求进行选配
电弧源4台或6台6台或8台8台或10台10台或12台10台或12台
偏压电源10KW/1台20KW/1台20KW/1台30KW/1台40KW/1台
工件转架
转动方式行星式公自转、变频调速（可控可调）
工件烘烤温度室温至450℃可控可调（PID温控）
工艺气体3路或4路工艺气体流量控制及显示系统 选配自动加气系统
冷却方式水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。（客户提供）
控制方式手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或计算机控制
整机总功率40KW45KW50KW60KW75KW
报警及保护对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。
设备占地面积W2m×L3mW2.5m×L3.5mW3m×L4mW4m×L5mW4.5m×L6m
其他技术参数水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa
备 注镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜产品工艺要求进行设计。