合金靶材::铜铟***硒靶(Cu-In-Ga-Se)、铜铟靶(Cu-In)、铜铟***靶(Cu-In-Ga)铝铜合金靶材 (Al-Cu),铝就铬合金 靶材(Al-Cr),铝镁合金靶材(Al-Mg),铝硅合金 (Al-Si),铝银合金 (Al-Ag),***钆合金 (Ce-Gd),***钐合金 (Ce-***),铬硅合金靶材(Cr-Si),钴铬合金靶材 (Co-Cr),钴铁合金 (Co-Fe),钴铁硼合金(Co-Fe-B),铜钴合金 (Cu/Co) ,铜***合金靶材(Cu-Ga),铜铟合金靶材 (CuIn),铜镍合金靶材 (Cu-Ni),铜锆合金靶材(Cu-Zr) ,铪铁合金(HfFe),铁硼合金 (Fe-B),铁碳合金 (Fe-C),铁锰合金 (Fe-Mn),铱锰合金(Ir-Mn),铱铼合金(Ir-Re),铟锡合金 (In-Sn),钼硅合金靶材 (Mo-Si),镍铝合金靶材(Ni-Al),镍铬合金靶材 (Ni-Cr),镍铬硅合金靶材 (Ni-Cr-Si),镍铁合金靶材 (Ni-Fe),镍铌钛合金靶材 (NiNbTi) ,镍钛合金靶材 (Ni-Ti),镍钒合金靶材 (Ni-V),钐钴合金靶材 (***-Co),银铜合金靶材 (Ag-Cu),银锡合金靶材 (Ag-Sn),钽铝合金靶材(Ta-Al),铽镝铁合金靶材 (TbDyFe),铽铁合金靶材(TbFe),钛铝合金靶材(TiAl),钛镍合金靶材 (TiNi),钛铬合金靶材 (TiCr),钨铼合金靶材(WRe) ,钨钛合金靶材(WTi),锆铝合金靶材(ZrAl), 锆铁合金靶材 (Zr-Fe) ,锆镍合金靶材 (Zr-Ni),锆铌合金靶材(ZrNb),锆钛合金靶材(ZrTi),锆钇合金靶材 (ZrY) ,锌铝合金靶材(ZnAl),锌镁合金靶材 (ZnMg).