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特种气体 (Specialty gases) :指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、***气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、***、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、***研究及诊断、食品保鲜等领域。
特种气体是光电子、微电子等领域。特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,特种气体报价,并从根本上制约着电路和器件的精1确性和准确性。半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少,特种气体生产厂家,大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。
深度提纯难度大,而纯度是电子气体质量***重要的指标。在芯片加工过程中,微小的气体纯净度差异将导致整个产品性能的降低甚至报废。电子气体纯度往往要求5N-6N级别,西安特种气体,还要将金属元素净化到10-9级至10-12级。气体纯度每提高一个层次对纯化技术就提出了更高的要求,特种气体公司,技术难度也将显著上升。以硅1烷为例,将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路。对于混合气体而言,混合配比的精度也是下游生产厂商关心的指标。气体纯化技术主要有吸附法、精馏法、膜分离法等。
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