准分子激光器出现于七十年代初，准分子预混气公司，由于其单光子能量大，量子效率高，可实现高功率运转且处于紫外波段，因此短短的十几年中得到了迅速发展。进入八十年代，商品化准分子器件不断涌现，在实验室和工业界应用前景越来越广，使得该类器件成为气体激光器中发展***快的器件之一。 但是与其它气体激光器相比，准分子器件的***1大不足是光束质量差。为此，国际上，在八十年代后期，开始在商品器件上引入非稳腔以改善光束质量，如西德 Lambda Physik公司的产品〔幻。国内虽然在实验室内实现了KrF输出〔2〕〔3〕，但实用型器件至今仍停留在单一的XeCI(3O8nm)谱线，没有能很好地解决材料对FZ的耐腐蚀问题，因此限制了更短波长实用器件的出现，南宁准分子预混气，如KrF(2 48nm)，ArF(193nm)等。另一方面，准分子预混气供应商，大部分器件采用平一平腔结构，光束发散角高达3~4个mrad，而刻蚀、遥感等领域则需要发散角小一个数量级的激光输出。
准分子激光器 利用准分子的束缚高能态和排斥性或弱束缚的基态之间的受激发射的激光器。由于基态寿命极短，可实现***率和高平均功率。准分子激光器的主要受激准分子是惰性气体准分子和惰性气体卤化物准分子。激光发射波长主要在紫外和真空紫外区域，输出能量已达百焦耳量级，用于光泵染料激光器、同位素分离和激光化学。安徽谱纯气体科技有限公司！
分子之间形成准分子是一种物理过程。由于准分子的基态十分不稳定，使得准分子会在几个皮秒的时间内就发生分解返回单体的基态。可以认为它的激光下能级是未被粒子占据的空能级，这样会比较容易地形成布居反转状态。所以准分子具有作为增益介质的天然属性。既然无机材料可以产生受激发射，那么有机材料形成的准分子在理论上也可以形成受激发射。与无机材料相比，准分子预混气销售，有机材料形成准分子所需要的能量比无机材料要小得多。另外，有机材料较无机材料种类丰富，性质也多样，这为研究有机准分子激光器提供了十分丰富的材料基础。F. P. Scha¨fer曾经预言具有较高荧光效率的有机分子间所形成的准分子将是理想的激光工作物质。、
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