




在半导体制造业中,石家庄特种气体,可以把气体分成大宗气体和电子气体,大宗气体是指集中供应且用量较大的气体,如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积,扩散等过程中使用的各种化学气体,如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、***F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、***F8、N2O等,又可称为电子特种气体。
电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中,特种气体厂家供应,从芯片生长到***后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。
有人说电子特气是电子工业体系的血液,有人说电子特气是电子工业体系的粮食,还有人说电子特气是电子工业体系的脑细胞,这些都说明了电子气体对于集成电路生产的重要性,无疑是集成电路制造所需要的关键材料。
面对如此的大好形势,特种气体厂家,特种气体公司如雨后春笋般的遍地崛起,根据气体圈子统计,高纯氨企业已经在生产的和新项目立项确定的就有15家,***的生产企业和立项已经确定的有17家,三氟化氮生产企业未来也有近10家。这些企业大体分为三类,第1类是之前就从事特种气体生产研究的企业,第二类是由工业气体企业转型而来,第三类是非气体行业的“慕名而来”,气体圈子认为国产化更多时候PK的应该是质量而非数量。
电子特种气体种类多,应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%,但是由于其品种繁多,特种气体价格多少,在半导体制程工艺中覆盖广泛,因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积极布局的方向。特种气体的分类方式很多种,例如按照气体本身化学成分可分为:硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。
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