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电子工业生产中所需的高纯气体

随着现代分析仪器的发展，国外对高纯气体的分析经历了离线分析(off-line)、在线分析(on-line)和原位分析(in-situ)三个阶段。我国在高纯气体分析方面，也已进入在线分析阶段，且分析检测的灵敏度高，可以实现气体中痕量金属杂质的分析测试 。然而，郑州特种气体，由于一些气态样品不能直接导入分析仪器进行金属成分的测量，一般需要把气体样品***行液体化，即将含有金属杂质的气体样品捕集到溶液中，哪里有特种气体，以该溶液为样品，特种气体厂，才能选定合适的检测手段进行分析。由于高纯气体中的金属杂质含量低至ppb至ppt级，因此，对测定时使用的取样方法(防止样品污染)、检测方法以及分析测试仪器(灵敏度和检测限等)均提出了更高的操作要求。本文综述了电子气体中金属杂质的一些捕集方法以及几种不同的检测方法。

特种气体兴起于60年代中期，作为基础化工材料，主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、***科学、临床诊断、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展，其应用范围也越来越广泛。特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体、标准气、环保气、***气、焊接气、杀菌气等，广泛用于电子、电力、石油化工、***、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、***研究及诊断、食品保鲜等领域。

特种气体使用安全

首先，应对特气的危害性进行分析，通过本质安全设计，消除安全隐患。根据行业规范，对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏，确保系统密闭性。钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。管道系统应采用焊接系统，机械接头均应置于抽风罩内。排放气体应进行安全处理。气体输送设备具有紧急切断功能。操作应遵循标准操作规程。

其次，特种气体厂家，采用监测手段，预防事故发生。设置气体泄漏侦测器，监控气体泄漏。可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。***气体应设置过流开关。气柜应进行负压监测，防止抽风系统的失效。侦测系统应与报警和紧急切断连锁。系统还应进行远程监控。监控系统应设置不间断电源。