真空泵系统起动前的检查和准备工作
1、检查所有的螺栓是否紧固;
2、检查电机的转向是否与泵转向相符;
3、检查轴承室是否有润滑油(脂),使用润滑油的,其油位是否正常;
4、用于盘转泵转子,确认泵内没有***掉入,无卡、磨现象;
5、检查填料是否装入填料;
6、吸入管路如装有闸阀,真空泵生产厂家,应将闸阀全开;
7、关闭出口管路上的闸阀和压力表旋塞(轴流泵、混流泵应打开出口闸阀)。
喷射式泵属于流体作用泵,是利用流体流动时能量转化以达到输送流的装置。喷射泵的工作流体可以是水蒸气、空气、水和油等。喷射式真空泵又称为射流真空泵,是利用喷嘴的高速射流来抽除容器中的气体来获得真空的,在化工生产上主要用作真空泵,通化真空泵,在蒸发和蒸馏过程中广泛使用。喷射式泵的工作流体可以是蒸汽,也可以是水,还可以是其他液体或气体。工作蒸汽在高压下经喷嘴以很高的速度喷出,真空泵型号,在喷射过程中,真空泵哪家好,蒸汽的静压能转变为动能,因而在吸入口处造成了一个低压区,将所输送的流体吸人。吸入的流体与蒸汽混合后进入扩大管,流速逐渐降低,压强随之升高,并从压出口排出。
干式真空泵的应用主要有以下几个方面:低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺半导体刻蚀工艺,在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。除半导体工艺外某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止***造成污染,适合用干式真空泵。用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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