石英晶圆（Quartz wafer）

石英晶圆（Quartz wafer）

石英晶圆的材质主要有两种：熔融石英（fused silica quartz）和单晶石英（single crystal quartz）。

熔融石英是玻璃状的石英,因此是各向同性的。 熔融石英坚硬,具有非常低的热膨胀系数。熔融石英具有多种类型，分别有不同的用途。我们这里介绍三种：JGS1、JGS2、JGS3。

• JGS1，在紫外和可见光波段透明性好，不含气泡和杂质，高能激光领域的使用材料，可用于制作光学元件：透镜、棱镜等。
• JGS2通常用于反射镜基底，含有较多小气泡。
• JGS3在红外波段有很好的透过率，但是包含很多气泡。

所有的单晶石英都是由一种特殊的籽晶生长而成。切割类型的不同会导致籽晶的***不同。一种类型籽晶在晶片内部，名为“With Seed”，另一种类型籽晶不在晶片内部，因此命名为“无籽”。单晶石英可分为三个区域：X/Y和Z区。无籽意味着晶片处于纯X/Y或Z区。

经常用到的参数是切型，常见的切型：AT-cut、ST-cut、Z-cut等。