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特种气体：关于高纯CO及高纯CH4生产技术

（一）技术简介

该项技术利用化工、医1药等行业的各类废气资源生产高纯 CO 及高纯 CH4 技术，应用于特种气体领域。

（二）技术特点

1、产品纯度高

采用双塔精馏技术，克服变压吸附只能将纯度提至 99% 的行业技术难题。该技术是国内首套采用精馏装置生产高纯CO及 CH4的技术，能将 CO及 CH4产品纯度提高至 99.999%。

2、装置高度集成

装置采用 1台冷箱，特种气体多少钱，同时具备生产高纯 CO及高纯 CH4 能力。

高纯气体输送及储运也是影响电子气体质量的关键因素。超高纯气体的生产和应用要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口，特种气体批发，要求相应器件耐高压、耐高真空，对于腐蚀性气体要求耐腐蚀，以避免二次污染的发生。随着气体纯度的提高、产品种类的增多，对包装容器的要求也越来越高，对于气瓶内壁处理技术以及气密性好无污染的阀门、减压器、过滤器等的研制提出了较高要求。

电子特种气体种类多样行业集中度高，安徽特种气体，细分领域整合开启进口替代新征程。2016 年***半导体行业用电子特种气体市场规模达到 36.8 亿美元，同比增长 5.7%；国内方面集成电路用电子特种气体需求约为 25 亿元，预计到 2020 年将突破 68 亿元。电子特种气体行业集中度高，以美国空气化工、美国普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气和日本大阳日酸株式会社为首的五大气体公司占有*** 90%以上的电子特种气体市场份额。