性能特点
l 用途
1)QW4R系列为***新型FPD检查显微镜,专为LCD行业 / TFT玻璃 / COG导电粒子压痕、粒子***检查
2)QW4R系列机型采用4寸、6寸平台设计,可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查
l 特点
1)QW4R系列,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美
2)QW4R系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源
3)多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、简易偏光、微分干涉观察
技术参数 (以下参数根据客户实际需求配置)
配 置 参 数
光学系统 无限远色差校正光学系统
观察方法 明场 / 斜照明 / 偏振光 / DIC
观 察 筒 30°铰链式三目,分光比,双目:三目=100:0或50:50
目 镜 PL10X/22平场高眼点目镜
转 换 器 5孔内倾式转换器,带DIC插槽
物 镜 无限远长工作距平场消色差金相物镜5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm
无限远长工作距平场消色差金相物镜10X LMPL10X/0.30 WD10mm
无限远长工作距平场消色差金相物镜20X LMPL20X/0.45 WD4mm
无限远长工作距平场半复消金相物镜50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm
无限远长工作距平场半复消金相物镜100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm
调焦机构 粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出
载 物 台 4寸双层机械移动平台,行程105X105mm,带金属平板平台,右手位X、Y移动手轮
6寸三层机械移动平台,行程158X158mm,玻璃工作台,右手位X、Y移动手轮,带离合器手柄,可快速移动(选配)
另可选配:8寸移动平台
照明系统 反射:带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤***插槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆;单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调;
透射:单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调;带可变孔径光阑
可选配卤素光源照明
偏光附件 检偏镜可360度旋转,起偏镜和检偏镜均可移出光路
CTV接口 1X、1/2X