安徽特种气体-安徽谱纯气体-电子特种气体

特种气体是电子工业，安徽特种气体，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向，电子特种气体，这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求，以实现气体的市场价值。在这三种分离技术中，精馏技术的操作比较复杂，目前精馏的汁算还处在半经验状态，但分离的气体产品的纯度能满足市场上各种气体的纯度要求；吸附分离技术还有待于吸附剂的发展；膜分离技术是较新的分离模式，它的发展很快，已经对精馏技术和吸附分离技术造成了不同程度的威胁。总之，特种气体销售，这三种方法各有优缺点，适应不同的场合，满足不同的要求，为特种气体的分离做出各自的贡献。

随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展，特种气体行业新兴起来。特种气体是工业气体中的一个新兴门类，从应用领域划分，主要有电子气体、高纯气体、标准气体三大类。

近年来，随着下游应用领域的逐步扩展，特种气体报价，特种气体的品种也与日俱增，据不完全统计，我国已有的特种气体达260余种。随着非低温气体分离技术（吸附、膜分离）、混配技术和提纯技术的发展，更多的特种气体产品将逐步走向市场。电子气体主要分为氢化物（超纯氢、硅1烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙1烷等）。目前，我国电子气体品种基本齐全，但数量和质量与发达***相比，尚有较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展，对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。

电子气体中的金属杂质主要来源于：1) 生产环境和制造过程中引入的微量金属杂质；2) 气体运输和储存过程中机械带入的金属杂质；3) 使用过程中外界环境引入的金属污染。这些金属杂质在气体中主要以0.1~20 μm悬浮颗粒或小于0.1 μm的气溶胶形式存在。只有将气体中的颗粒通过分离进行排除，才能减少或消除金属杂质。然而，目前一般的过滤器的孔径***1小为0.2 μm，无法完全消除金属杂质。因此，建立气体中痕量金属杂质的检测方法，对高纯气体的生产、储存和运输等均具有指导意义。