




特种气体 (Specialty gases) :指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。化工特种气体在不同的情况下是不一样的,一般而言是氧气,氮气,武汉特种气体,二氧化碳,氢气等。特种气体是指稀有气体或超高纯度(99.995% 以上)的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质,它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。
高纯气体输送及储运也是影响电子气体质量的关键因素。超高纯气体的生产和应用要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口,要求相应器件耐高压、耐高真空,对于腐蚀性气体要求耐腐蚀,以避免二次污染的发生。随着气体纯度的提高、产品种类的增多,对包装容器的要求也越来越高,对于气瓶内壁处理技术以及气密性好无污染的阀门、减压器、过滤器等的研制提出了较高要求。
特种气体的发展趋势也伴随光电子、微电子产业的发展不断更新、进步。主要表现为产品品种的不断增加,特种气体公司,新型半导体材料的出现,代之而来的是新一代支撑材料的需求,特种气体价格多少,特种气体生产厂家紧紧围绕下游芯片厂的需求,不断推出符合半导体工艺的新品种;同时特种气体质量不断提高,以LED产业用量***1大的氨气为例,高纯氨产品的纯度由***初的技术指标要求电子级(5N)到兆位一级(5.5N)、兆位二级(5.7N)发展到市场广泛应用在氮化jia生产中的蓝氨(6.4N),目前氮化jia技术需求的高纯氨技术指标纯度超过99.99999%,业界已经认可的白氨已经完全商品化;由于产品中杂质如水份、碳氢化合物的含量在特种气体纯度中都有严格限制,但绝大多数特殊气体因化学活性大,所以不容易保持其纯度,因此气体的纯度、供气系统的保证便成为半导体厂要求品质和经济性的关键。为避免化合物半导体生产过程中频繁更换过程气体瓶,保证尽可能少引入杂质,气体的充装容器规格趋向大体积,产品包装的集装化,在具备条件的工厂还可以直接建设气体输送管道,保证特种气体的供应质量稳定。
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