TREK 645/646 静电卡盘电源

TREK 645/646 静电卡盘电源

TREK 645软件驱动式静电卡盘电源，可满足各种要求苛刻的应用，效率及吞吐量是其它品牌产品的三倍，***了晶片粘贴及晶片爆裂的情况，能

够更好地控制颗粒物对晶片的污染。

应用
TREK645拥有***的性能及强大通用性，可用于多种特有的工具/工艺，而不需要为每种不同的工具/工艺选配一种新电源。并内置抓取晶片检测功能

（临界值可通过程序设置）：指明晶片抓取事件，由低压正弦波产生的电容性电流，在相位A及相位B输出上叠加合成，可被监测但是也可通过程序设

置禁用。叠加波形用于指示无晶片，有晶片，或晶片夹紧状态。
静电吸附驱动的材料抓取搬运；半导体晶片加工；平板及其它加工材料的非机械化转移，材料不适合机械夹持方法的。
输出相位
同步高压输出：两个同步高压输出（输出相位A及输出相位B）幅度相同，极性与补偿电压相反。
电压A（基准相位）: 0 to &plu***n;2KV 
电压B（相位B=[-1]x 相位A）：0 to &plu***n;2KV 
输出电压范围：0 to &plu***n;2KV DC
输出电流范围：0 to &plu***n;6.5mA DC 峰值容量10mA
内部控制
补偿电压（此功能可通过程序禁用）：一个高达&plu***n;2KV的补偿电压可同步添加到每个相位的输出。不管A和B处的电压和极性是什么，添加补偿电压后

，补偿电压的幅值及极性同时在输出A及B处出现。补偿电压和每个相位的输出电压总和不能超过&plu***n;2KV。
输出波形：每个DC输出电压（相位A及相位B）的高低与时间的升降对称 ，或者可通过用户设定的夹持及松开的波形来编辑。
输入
设置高压值：HV幅值可以通过设备在内部或从外部控制
设置补偿电压：补偿电压可以通过设备在内部或从外部控制
输出电压监视器（背板连接器）
输出比：1 V/200 V
相位B DC：精度优于满量程的2%
偏移电压：< 10mV 
输出杂讯：< 50mV rms
稳态电压泄漏电流监视器
输出比：1V/100μA
DC 精度：&plu***n;5μA
输出杂讯：< 50mV rms
电容性负载选择：根据系统及静电卡盘的物理构形，卡盘抓取的电容状态范围可通过程序在0-10，20 或30nF（相间）间选择。
参数
尺寸：    43.7mm H x 421.6mm W x 457.3mm D
面板宽度：    482.6mm
重量：    3.86Kg
连接器：     15针D型ITT Canon，用于连接远程监控设备，9-针D型ITT Canon RS-232,3针 FCT D型 高压，标准A型 USB，以太网（选配）及面

板
PowerON/OFF电源开/关：     2位摇杆开关
运行环境
温度：     0℃-35℃
湿度：     达85%，无结露
海拔高度：    达2000m
电气参数
DC输入接口：     2.0mm 锁定DC 插孔，中心触点为正极，壳部为负极（与Switchcraft S761K 插头连接）
接地：     接地螺栓
电源要求：    24VDC，1.7A