1.1、设备名称：全自动兆声波清洗机
1.2、设备型号：AQS-4500
1.3、型式：由自动清洗干燥工件
1.4、用途：清洗与干燥工件
1.5、生产能力： 10—60分钟/每篮（由工艺定）
1.6、总体外形尺寸：长L3600×宽W1000×***1900mm
1.7、工艺流程：
1#超声喷淋水洗→2#兆声喷淋水洗→3#移动切水→ （水洗）
4#超声喷淋碱洗→5#兆声喷淋碱洗→6#移动切水→ （碱洗）
7#兆声喷淋纯水洗→8#移动切水 → （纯水）
1.8、喷淋式兆声波系统
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说明： ■ 本装置***主要的功能是产生兆声波。使水分子以105G的加速度振动,去除物体表面小于0.2μm的微小颗粒。 ■ Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其他玻璃面罩的清洗. ■ 硬盘清洗、平板玻璃、半导体组件、薄膜磁头等脆性材料等的超精密清洗. ■ 采用兆声清洗法可以减少***和提高纯水的用量,在不***晶圆表面特征的前提下,提高对亚微细颗粒及各种污染物的去除能力及生产效率. ■ 主要配置： 1.振板尺寸：L559×W100×H76mm 2.槽体结构：内槽采用SUS316L T2.0不锈钢板制作加工,圆角处理.内槽与液体接触部分均镜面抛光处理. 3.兆声波发生器： 1) 配发生器1台,电源220V 9.5A。 2) 频率：950KHz-1MHz 3) 功率：900W 4) 尺寸：460ｘ500ｘ143mm 5) 重量：25kg 6) 显示：7字段 3位数 LED 7) 上下限判定功能 8) 振荡状态显示实行上下限异常显示功能 9) 可外接远程控制系统,遥控操作工艺流程 10) 过热安全保护系统 11) 过流安全保护系统 12) 锁相环路频率自动跟踪（在不同的温度、载荷和液面高度的情况下,使功率输出***优化） |
1.8、动力供给、排放
供给：
1）电源：3ФAC380V 50Hz 30KVA
2）压缩空气：3-5kg/cm2 500NL/min
3）工水：20℃-28℃ 1-3kg/cm2
4）DI纯水：20℃-28℃ 1-3kg/cm2 500L/H
排放：1）一般废水 2）一般排气