水质标准：电阻率≥15MΩ.cm,达到中国电子Ⅱ级用水标准
电阻率≥18MΩ.cm,达到中国电子Ⅰ级用水标准
工艺：一级反渗透+混床
标准配制：原水→原水箱→原水泵→絮凝剂装置→机械过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂装置→保安过滤器→高压泵→反渗透装置→中间水箱→中间水泵→混床→纯水箱→输送泵→紫外/臭氧杀菌→终端过滤→用水点（另配RO膜清洗装置）
电子级超纯水中国标准（GB/T11446.1-1997）
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项目
级别
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比电阻
MΩ.cm
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硅
≤
μg/L
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>1μm微粒数＜个/ml
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细菌个数＜个/ml
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铜≤
μg/L
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锌≤
μg/L
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镍≤μg/L
|
钠≤
μg/L
|
钾≤
μg/L
|
氧≤
μg/L
|
硝酸根≤
μg/L
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磷酸根≤
μg/L
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硫酸根≤
μg/L
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总有机碳≤
μg/L
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EW-Ⅰ
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18（95%的时间不低于17）
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2
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0.1
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0.001
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0.2
|
0.2
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0.1
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0.5
|
0.5
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1
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1
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1
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1
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20
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EW-Ⅱ
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15（95%的时间不低于13）
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10
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5
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0.1
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1
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1
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1
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2
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2
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