Femto PCCE 创新触摸屏
适用制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反应室尺寸:Ø 100 mm, L 280 mm
气体供应:流量控制型; 双气体通道
射频发生器:40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵:Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
控制方式:电脑控制
苏州和谐电子技术有限公司
联系人:曹小姐
联系电话:400-699-3936
E-mail:sales@
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价格: | 来电议定 |
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Femto PCCE 创新触摸屏
适用制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反应室尺寸:Ø 100 mm, L 280 mm
气体供应:流量控制型; 双气体通道
射频发生器:40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵:Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
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