




在半导体制造业中,可以把气体分成大宗气体和电子气体,大宗气体是指集中供应且用量较大的气体,如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积,扩散等过程中使用的各种化学气体,沈阳气体,如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、***F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、***F8、N2O等,又可称为电子特种气体。
电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中,从芯片生长到***后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。
特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料,根据不同气体的生产工艺和用途,可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。其中,特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体,包括电子气体、标准气体、高纯度气等种类,可应用于电工电子、半导体、液晶面板、光纤、***研究及诊断等多个领域。
有人说电子特气是电子工业体系的血液,气体公司,有人说电子特气是电子工业体系的粮食,还有人说电子特气是电子工业体系的脑细胞,哪里供应气体,这些都说明了电子气体对于集成电路生产的重要性,无疑是集成电路制造所需要的关键材料。
面对如此的大好形势,特种气体公司如雨后春笋般的遍地崛起,根据气体圈子统计,高纯氨企业已经在生产的和新项目立项确定的就有15家,***的生产企业和立项已经确定的有17家,三氟化氮生产企业未来也有近10家。这些企业大体分为三类,第1类是之前就从事特种气体生产研究的企业,第二类是由工业气体企业转型而来,第三类是非气体行业的“慕名而来”,气体圈子认为国产化更多时候PK的应该是质量而非数量。
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