




特种气体是光电子、微电子等领域,特种气体,特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并且从根本上制约着电路和器件的精1确性和准确性。
半导体照明是正处于方兴未艾的产业,青岛气体,随着化合物半导体市场的扩展,特种气体的需求呈现更大的增长态势,外延生长需要大量的超纯源和过程气体。应用于半导体技术中的特种气体因为其种类繁多品质要求严格,生产、充装、运送、储存都有技术及安全的要求,再加上经济规模等因素,需要多方面的积累才能实现规模化生产,因此目前国内呈现现市场大、供应能力小的局面。
电子工业生产中所需的高纯气体
随着现代分析仪器的发展,国外对高纯气体的分析经历了离线分析(off-line)、在线分析(on-line)和原位分析(in-situ)三个阶段。我国在高纯气体分析方面,也已进入在线分析阶段,且分析检测的灵敏度高,可以实现气体中痕量金属杂质的分析测试 。然而,气体供应,由于一些气态样品不能直接导入分析仪器进行金属成分的测量,一般需要把气体样品***行液体化,气体公司,即将含有金属杂质的气体样品捕集到溶液中,以该溶液为样品,才能选定合适的检测手段进行分析。由于高纯气体中的金属杂质含量低至ppb至ppt级,因此,对测定时使用的取样方法(防止样品污染)、检测方法以及分析测试仪器(灵敏度和检测限等)均提出了更高的操作要求。本文综述了电子气体中金属杂质的一些捕集方法以及几种不同的检测方法。
电子特种气体是以气态形式存在于电子产品制造过程的特殊材料,之所以称之为“特殊”,因为它们要求超纯超净,而且大部分***腐或者***等性质。对杂质的要求,气体圈子任路先生这样说道,1个PPB的SPEC要求,相当于对杂质的要求是体积为120m i *90m*30m的3个足球场的空间内不允许出现一个shai子(1cm长宽高的)杂质!
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