




特种气体(Specialty gases)是指那些在特定领域中应用的,厦门特种气体,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
特种气体广泛应用于半导体制造行业,是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体中包含了大量的***、***的***性大的气体,因此,特种气体的使用和贮存有别于普通的工业气体。特种气体按性质分类:腐蚀性气体、***性气体、氧化氧气体、惰性气体、***性气体。
LED产业的特种气体技术发展趋势市场
随着化合物半导体技术的日益成熟和产业化进程的加快,外延技术需要的超纯特种气体和有机源的研制和制造技术不断提升。主要表现在:气体和有机源的深度纯化技术;气瓶及管路内壁的洁净处理技术;ppm、ppb、ppt气体杂质检测技术;ppb、ppt级金属杂质的净化控制及分析检测技术;排放尾气的解1毒报警技术;一体化无污染供气系统的建立;特种气体混合气的配制技术;配套器件技术以及0.01~0.002μm颗粒的测试过滤技术等。为了适应日益发展的下游产业的发展需要,特种气体价格,特种气体生产商在产品纯化、灌装、检测等环节取得更多的创新技术。
特种气体产品供应***有代表性的公司为美国Air Product、Praxair、德国Linder、法国AirLiquid、日本酸素等,这些公司的产品在国际电子气体的市场占有主要份额。国内特种气体的研究开发取得了一定的成绩,形成产业化的还很少,电子特种气体,使得绝大多数产品仍然依赖进口。在***“863”项目的支持下,公司生产的高纯氨产品纯度99.99999%以上,可以替代进口产品,应用在氮化jia生产中。
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