大家都知道钛醇盐气相水解法是将钛醇盐气化成蒸气或经喷嘴雾化成微小的液滴，然后与水蒸气反应，金红石钛***(http://)可以用来合成单分散球形纳米TiO2，由于反应温度不高，所制备纳米TiO2通常为非晶型或锐钛型，如要得到金红石型纳米TiO2，还需要经过高温煅烧。其反应式如下：
nTi(OR)4(g)+4nH2O(g)===nTi(OH)4(s)+4nROH(g)
nTi(OH)4(s)===nTiO2·H2O(s)+nH2O(g)
nTiO2·H2O(s)===nTiO2(s)+nH2O(g)
胡黎明等用低温氮气冷激高温氮气携带的Ti(O***H9)4蒸气，形成亚微米级的液滴，再与水蒸气反应，在较低温度下合成了纯度高且单分散性好的纳米粒子，将上述过程分解为混合段和反应段，导出表征颗粒成核与生长的全混反应器串级模型。该模型较好地解释了实验现象和结果，理论预测和实验研究表明，产物颗粒的粒径与反应器中流动、混合状况及反应体系的热力学性质有关。
日本曹达株式会社和出光兴产株式会社利用氮气、氦气和空气除为载气，把钛醇盐蒸气分别导入反应器的反应区，进行瞬间混合和快速水解反应。通过改变反应区中各种蒸气的停留时间、摩尔比、流速、浓度以及反应温度来调节纳米TiO2的粒径和粒子形状。这种制备工艺可以获得平均原始粒径为10~150mm，比表面积为50~300m2/g的非晶型纳米TiO2。
如果将钛醇盐蒸气、水蒸气和有机表面处理剂一起导入反应器，在钛醇盐蒸气气相水解、形成纳米TiO2以后，可以对TiO2粒子再进行有机表面处理，制备纳米TiO2可用于油漆、高分子材料催化剂等领域。
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