DS610自动砂轮划片机主要技术参数如下：
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配置与性能 |
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1 |
加工尺寸 |
≤160mm×160mm 或 φ6″ |
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2 |
切槽深度 |
≤4mm 或 定制 |
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3 |
切槽宽度 |
≤刀片厚度+10μm（开槽深度小于1mm时） |
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4 |
工作台平整度 |
&plu***n;0.005mm/100mm |
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5 |
对准系统 |
单筒显微镜＋CCD； 30~150X |
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6 |
控制系统 |
IPC Based |
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空气静压主轴 |
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1 |
额定工作气压 |
0.55MPa |
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2 |
转速范围 |
Max40000rpm |
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3 |
输出功率 |
1.25kW |
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X轴（驱动工作台左右运动） |
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1 |
驱动方式 |
伺服电机 |
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2 |
工作台左右行程 |
240mm |
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3 |
行程分辨率 |
0.001mm |
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4 |
速度设定范围 |
0.1～400mm/s |
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Y轴（驱动主轴前后运动） |
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1 |
驱动方式 |
步进电机+光栅闭环控制系统 |
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2 |
主轴前后行程 |
170mm |
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3 |
行程分辨率 |
0.0005mm |
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4 |
单步***精度 |
≤0.003mm/5mm |
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5 |
全程***精度 |
≤0.005mm/170mm |
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Z轴（驱动主轴上下运动） |
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1 |
驱动方式 |
步进电机 |
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2 |
主轴上下行程 |
30mm |
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3 |
行程分辨率 |
0.001mm |
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4 |
重复***精度 |
0.002mm |
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θ轴（驱动工作台转动） |
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1 |
驱动方式 |
伺服电机 |
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2 |
正反转范围 |
360°任意 |
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3 |
转角分辨率 |
0.0005°(1.8″) |
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4 |
重复***精度 |
&plu***n;3.6″ |
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其它 |
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1 |
温湿度 |
15～28℃；湿度＜80%，无凝结 |
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2 |
电源 |
单向，AC 220V&plu***n;10%，3.0kW |
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3 |
压缩空气 |
压力0.6MPa； 流量300L/min |
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4 |
冷却水 |
压力0.3MPa； 流量3.0L/min |
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5 |
外形尺寸W×D×H |
665mm×960mm×1650mm |
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6 |
重量 |
500kg |
主要技术性能如下：
DS610型精密划片机：
a) 更高的效率
b) 更低的故障率
c) 更好的操作性
1、Y轴系统采用光栅反馈闭环控制，***准确。
2、Z轴采用直线导轨和滚珠丝杠传动方式，***准确。
3、运动轴响应速度高，切割效率高。
4、中文操作界面，状态实时显示，操作方便。
5、提供工艺编辑，多套工艺方案轻松更换。
6、全程详细记录设备运行状态。
7、外形灵巧美观，占地面积减小。
8、可以按照客户要求，实现特殊切割功能