DS620精密划片机主要技术参数如下：
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配置与性能 |
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1 |
加工尺寸 |
≤160mm×160mm 或 φ6″ |
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2 |
切槽深度 |
≤4mm 或 定制 |
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3 |
切槽宽度 |
≤刀片厚度+10μm（开槽深度小于1mm时） |
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4 |
工作台平整度 |
&plu***n;0.005mm/100mm |
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5 |
对准系统 |
单筒显微镜＋CCD； 30~150X |
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6 |
控制系统 |
IPC Based |
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7 |
操控方式 |
触摸屏操控 |
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空气静压主轴 |
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1 |
额定工作气压 |
0.55MPa |
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2 |
转速范围 |
Max60000rpm |
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3 |
输出功率 |
1.5kW （选配2.4KW） |
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X轴（驱动工作台左右运动） |
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1 |
驱动方式 |
伺服电机 |
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2 |
工作台左右行程 |
240mm |
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3 |
行程分辨率 |
0.001mm |
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4 |
速度设定范围 |
0.1～400mm/s |
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Y轴（驱动主轴前后运动） |
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1 |
驱动方式 |
步进电机+光栅闭环控制系统 |
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2 |
主轴前后行程 |
170mm |
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3 |
行程分辨率 |
0.0005mm |
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4 |
单步***精度 |
≤0.002mm/5mm |
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5 |
全程***精度 |
≤0.004mm/170mm |
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Z轴（驱动主轴上下运动） |
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1 |
驱动方式 |
步进电机 |
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2 |
主轴上下行程 |
30mm |
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3 |
行程分辨率 |
0.001mm |
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4 |
重复***精度 |
0.002mm |
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θ轴（驱动工作台转动） |
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1 |
驱动方式 |
直驱马达 |
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2 |
正反转范围 |
320° |
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3 |
转角分辨率 |
0.0005°(1.8″) |
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4 |
重复***精度 |
&plu***n;3.6″ |
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其它 |
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1 |
温湿度 |
15～28℃；湿度＜80%，无凝结 |
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2 |
电源 |
单向，AC 220V&plu***n;10%，3.0kW |
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3 |
压缩空气 |
压力0.6MPa； 流量300L/min |
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4 |
冷却水 |
压力0.3MPa； 流量3.0L/min |
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5 |
外形尺寸W×D×H |
665mm×860mm×1680mm |
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6 |
重量 |
500kg |
主要技术性能如下：
Ø 第二代控制系统，触摸屏操控方式，自动化程度高。
Ø 控制系统由工业计算机和轴卡组成，可靠性高。
Ø X轴采用伺服电机驱动，调速范围宽，运行平稳。
Ø Y轴采用直线导轨，滚珠丝杠和光栅反馈闭环控制，无误差积累，***准确。
Ø Z轴采用直线导轨和滚珠丝杠传动方式，***准确。
Ø θ轴采用伺服电机驱动，精密转角机构无误差积累，运行平稳。
Ø 图像系统由连续变倍显微镜和高清CCD组成，清晰直观。
Ø 中文操作界面，状态实时显示，操作简便人性化。
Ø 提供划片工艺编程功能，复杂加工轻松完成，多套工艺方案更换方便。
***大特点：
1、 DS620精密划片机主要用于高精度加工领域，采用英国进口大功率空气电主轴
2、 关键部件使用进口高精度丝杆、导轨，运动精度更高。
3、 标配触摸式液晶显示器，优化人机交互界面，操作便利。
4、 旋转工作台采用直驱式马达，精度高、速度快。
5、 占地面积更小，节省空间。