企业资质

沈阳和研科技有限公司

普通会员12
|
企业等级:普通会员
经营模式:
所在地区:辽宁 沈阳
联系卖家:
手机号码:
公司官网:www.heyantech.com
企业地址:
本企业已通过工商资料核验!
企业概况

沈阳和研科技有限公司是一家专业从事半导体专用设备及配件耗材的研发、销售、咨询、服务于一体的多元化公司,我们专注于硅片切割,晶圆切割,特殊切割加工等领域。依托于先进的产品技术及丰富的行业经验,不断为客户提供合理、实用、高效的产品解决方案,我们以专业的、完美的售后服务体系一直为您解决工艺中的技术难题;客......

DS820精密划片机

产品编号:5237050                    更新时间:2013-04-13
价格: 来电议定
沈阳和研科技有限公司

沈阳和研科技有限公司

  • 主营业务:划片机,精密划片机,精密切割机,晶圆切割机,硅片切割机,砂轮...
  • 公司官网:www.heyantech.com
  • 公司地址:

联系人名片:

联系时务必告知是在"产品网"看到的

产品详情

DS820精密划片机主要技术参数如下:

 

配置与性能

1

加工尺寸

方形≤210mm×210mm      或     圆形≤φ8″

2

切槽深度

≤4mm     或     定制(***大40mm)

3

切槽宽度

≤刀片厚度+10μm(开槽深度小于1mm时)

4

工作台平整度

&plu***n;0.005mm/100mm

5

对准系统

单筒显微镜+CCD; 40~230X

6

控制系统

IPC Based

7

操控方式

触摸屏操控

空气静压主轴

1

额定工作气压

0.55MPa

2

转速范围

Max40000rpm

3

输出功率

1.5kW (可选配2.4 kW)

X轴(驱动工作台左右运动)

1

驱动方式

伺服电机

2

工作台左右行程

380mm

3

行程分辨率

0.001mm

4

划片速度

0.1~400mm/s

Y轴(驱动主轴前后运动)

1

驱动方式

步进电机+光栅闭环控制系统

2

主轴前后行程

210mm

3

行程分辨率

0.0005mm

4

单步***精度

≤0.003mm

5

全程***精度

≤0.005mm/210mm

Z轴(驱动主轴上下运动)

1

驱动方式

步进电机

2

主轴上下行程

30mm      或      定制(支持大深度切割)

3

行程分辨率

0.001mm

4

重复***精度

0.002mm

θ轴(驱动工作台转动)

1

驱动方式

伺服电机

2

正反转范围

360°任意

3

转角分辨率

0.0001°(0.36″)

4

重复***精度

&plu***n;3.6″

其它

1

温湿度

15~28℃;湿度<80%,无凝结

2

电源

单向,AC 220V&plu***n;10%,3.0kW

3

压缩空气

压力0.6MPa;  流量300L/min

4

冷却水

压力0.3MPa;  流量3.0L/min

5

外形尺寸W×D×H

775mm×1060mm×1630mm

6

重量

630kg

 

 

 

主要技术性能如下:

 

Ø        第二代控制系统,触摸屏操控方式,自动化程度高。

Ø        上位机控制由工业计算机和轴卡组成,可靠性高。

Ø        X轴采用伺服电机驱动,调速范围宽,运行平稳。

Ø        Y轴采用直线导轨,滚珠丝杠和光栅反馈闭环控制,无误差积累,***准确。

Ø        Z轴采用直线导轨和滚珠丝杠传动方式,***准确。

Ø        θ轴采用伺服电机驱动,精密转角机构无误差积累,运行平稳。

Ø        图像系统由连续变倍显微镜和高清CCD组成,清晰直观。

Ø        中文操作界面,状态实时显示,操作简便人性化。

Ø        提供划片工艺编程功能,复杂加工轻松完成,多套工艺方案更换方便。

 

***大特点:

1、 DS820精密划片机在设计理念上更注重设备本身的操控性和可扩展性;

2、 该机型标配采用触摸式液晶显示器,优化了用户操作界面,提升了操作的便捷性,提升工作效率;

3、 该机型机械部分***大化利用8寸机的尺寸空间,***大切割尺寸为210mm×210mm,满足了客户用8寸机对大尺寸方形片状材料分割、小尺寸多片同时切割的要求

 

 

 

沈阳和研科技有限公司电话:传真:联系人:

地址:主营产品:划片机,精密划片机,精密切割机,晶圆切割机,硅片切割机,砂轮...

Copyright © 2024 版权所有: 产品网店铺主体:沈阳和研科技有限公司

免责声明:以上所展示的信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责。产品网对此不承担任何保证责任。