此款全自动清洗机适用于晶圆、QFN、玻璃和陶瓷切割后的清洗设备，有高压水和二流体两种清洗方案。采用人性化的全彩色触摸屏作为操作界面，令整机更为易用。该机型提供高压水和二流体两种清洗方案供分开或组合选择。适用于蓝膜、UV 膜、PET 衬底膜和双层膜。适用晶圆尺寸：3～12 Inch
技术特点：
■除提供传统高压水的清洗方案外，还提供采用二流体的清洗方案，在保证清洗效果的同时也减少了对芯片的损害。可***选择机器采用高压水或二流体的清洗方式，也可以选择双摆臂的组合方式。
■采用了应用于航天工程的磁流体密封技术的主轴，保证真空吸附的真空度，保证工作件不会因真空泄漏而脱离旋转台盘，从而损坏工作件，因此也提高了主轴的寿命，令主轴更安全，更可靠。
■配备5.7 英寸全彩色触摸屏，人性化的触摸屏界面，集成了所有的参数设计和功能操作；并提供信息和错误显示，让所有操作和信息一目了然。
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型号 |
DIXMI308 |
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适用晶圆尺寸 |
3～8 Inch |
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高压泵清洗压力 |
2.0～8.5 Mpa |
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主轴转速范围 |
600～3000 rpm |
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清洗和甩干时间范围 |
3～2000 秒 |
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触摸式显示屏 |
5.7 Inch仰角角度范围：0°~45° |
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组件更换时间 |
<15 分钟 |
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机器尺寸 |
400(W) x 800(D) x 1250(H) mm |
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电源 |
AC 220 50～60Hz |
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压缩空气 |
0.5～0.8 Mpa |
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型号 |
DIXMI312 |
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适用晶圆尺寸 |
3～12 Inch |
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高压泵清洗压力 |
2.0～8.5 Mpa |
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主轴转速范围 |
600～3000 rpm |
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清洗和甩干时间范围 |
3～2000 秒 |
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触摸式显示屏 |
5.7 Inch 仰角角度范围：0°~45° |
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组件更换时间 |
<15 分钟 |
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机器尺寸 |
500(W) x 900(D) x 1250(H) mm |
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电源 |
AC 220 50～60Hz |
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压缩空气 |
0.5～0.8 Mpa |