STFJ-110分子泵机组技术性能:
产品型号 |
STFJ-110 |
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接口法兰 |
DN100LF |
DN100CF |
抽气速率L/S(对空气) |
>110 |
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压缩比N2 H2 |
>108 5×102 |
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极限压强(pa) |
5×10-5 |
5×10-6 |
排气口法兰 |
KF25 |
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使用轴承 |
精密机械轴承 |
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输入电压频数(V/HZ) |
220&plu***n;20/50 |
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环境温度℃ |
0~40 |
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前级泵型号 |
TRP-12 |
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启动时间(min) |
<3 |
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额定工作转速(rpm) |
42,300 |
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冷却方式 |
水冷也可风冷 |
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安装方式 |
任意 |
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重量(kg) |
52 |
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长×宽×高 |
500×510×685 |
STFJ-110型分子泵机组是由F-100/110型系列各性能涡轮分子泵,前级机械泵,隔断放气阀,前级管路、分子泵电源,控制电源等组装于机柜内而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于连接,性能可靠,可广泛用于表面分析,***技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各个领域。