STFJ-620C分子泵机组技术性能：
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产品型号 |
STFJ-620C |
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接口法兰 |
DN160LF |
DN160CF |
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抽气速率L/S（对空气） |
＞600 |
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压缩比N2 H2 |
＞109 5×104 |
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极限压强（pa） |
5×10-6 |
6×10-7 |
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排气口法兰 |
KF40 |
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使用轴承 |
精密陶瓷轴承 |
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输入电压频数（V/HZ） |
220&plu***n;20/50 |
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环境温度℃ |
5~40 |
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前级泵型号 |
TRP-24 |
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启动时间（min） |
＜6 |
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额定工作转速（rpm） |
42,300 |
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冷却方式 |
水冷＜25℃ |
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安装方式 |
垂直安装&plu***n;5° |
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重量（kg） |
62 |
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长×宽×高 |
630×620×850 |
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STFJ-620F型系列复合分子泵机组由FF-160/620C系列各性能复合分子泵，前级机械泵，隔断电磁阀，前级管路，断水保护器，分子泵电源，控制电源等组装于控制台内而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛应用于表面分析，***技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各个领域。