电子气体中的金属杂质主要来源于：1) 生产环境和制造过程中引入的微量金属杂质；2) 气体运输和储存过程中机械带入的金属杂质；3) 使用过程中外界环境引入的金属污染。这些金属杂质在气体中主要以0.1~20 μm悬浮颗粒或小于0.1 μm的气溶胶形式存在。只有将气体中的颗粒通过分离进行排除，才能减少或消除金属杂质。然而，目前一般的过滤器的孔径***1小为0.2 μm，无法完全消除金属杂质。因此，深圳特种气体，建立气体中痕量金属杂质的检测方法，对高纯气体的生产、储存和运输等均具有指导意义。
特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料，根据不同气体的生产工艺和用途，可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。其中，特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体，包括电子气体、标准气体、高纯度气等种类，可应用于电工电子、半导体、液晶面板、光纤、***研究及诊断等多个领域。
电子气体行业的主要技术壁垒包括：
（1）提纯技术难度大。电子气体纯度往往要求（5N-6N）级别，而金属离子要求10-9~10-12级。 气体纯化技术主要有吸附法、精馏法、膜分离法，特种气体生产，其中精馏法应用***为广泛。精馏法可分为连续精馏法和间歇精馏法，连续精馏法操作稳定，并且得到的气体产品纯度较高，特种气体厂，质量好。吸附法分为变压吸附法和变温吸附法，与变压吸附法相比，变温吸附法能耗较高、吸附量小，再生需要加热介质，吸附剂寿命较短。膜分离法为一种新型的高分离、浓缩提纯及净化技术。
（2）气体输送，充装，和储运。超高纯电子气体的生产和使用需要高质量的钢瓶等储运容器，对气体输送管线、阀门和接口要求十分严格，以避免二次污染。随着气体纯度的提高、产品种类的增多，对包装容器的要求也越来越高，
（3）分析检测与质量控制。超高纯电子气需要对ppm(10-6)至ppb(10-9)级别的杂质进行分析，金属离子更是要求检测线达到ppb(10-9)至ppt(10-12)。
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