MAL标准型铝合金迷你气缸|实用超高真空***校准技术,气缸***世安!
直接比对法超高真空校准装置是以一只超高真空规作为参照标准对其它超高真空规进行校准,结构简单,操作容易,费用适中,一般校准实验室可以建立。但这种方法不确定度大。
MAL标准型铝合金迷你气缸参数概述
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内径 |
20 |
25 |
32 |
40 |
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动作形式 |
MSAL、MTAL系列 |
单动型 |
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其它系列 |
复动型 |
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工作介质 |
空气 |
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使用压力范围 |
复动型 |
0.1~1.0MPa(10~145Psi) |
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单动型 |
0.2~1.0MPa(28~145Psi)) |
MAL标准型铝合金迷你气缸|实用超高真空***校准技术,气缸***世安!
真空微电子技术和空间航天器等方面具有广泛的应用价值。超高真空规是超高真空测量的主要工具,要得到准确的测量结果,就必须对超高真空规进行***校准。
MAL标准型铝合金迷你气缸的行程表:
内径 |
标准行程(mm) |
***大行程 |
容许行程 |
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MAL |
20 |
25 50 75 80 100 125 150 160 175 200 250 300 |
500 |
800 |
25 |
25 50 75 80 100 125 150 160 175 200 250 300 350 400 450 500 |
800 |
1200 |
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32 |
800 |
1200 |
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40 |
1200 |
1500 |
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MSAL |
20 |
25 50 75 100 125 150 |
150 |
- |
25 |
150 |
- |
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32 |
150 |
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40 |
150 |
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MAL标准型铝合金迷你气缸|实用超高真空***校准技术,气缸***世安!
采用磁悬浮转子规实现超高真空校准,是一项实用超高真空***校准技术,不仅避免了动态流量法超高真空标准装置的缺点,也避免了直接比对法超高真空校准装置的缺点。
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