




在半导体制造业中,可以把气体分成大宗气体和电子气体,特种气体批发公司哪家好,大宗气体是指集中供应且用量较大的气体,如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积,扩散等过程中使用的各种化学气体,如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、***F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、***F8、N2O等,又可称为电子特种气体。
电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中,从芯片生长到***后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。
工业上,把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大,但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小,但根据不同的用途,对不同特种气体的纯度或组成、***杂质允许的***1高含量、产品的包装贮运等都有极其严格的要求,属于高技术,高附加值产品。通常,可以将特种气体分为三类,即高纯或超高纯气体、标准校正气体和具有特定组成的混合气体。气体产品作为现代工业重要的基础原料,应用范围十分广泛,在冶金钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医1药医1疗等部门,生产特种气体厂哪家好,均使用大量的常用气体或特种气体。
电子气体中的金属杂质主要来源于:1) 生产环境和制造过程中引入的微量金属杂质;2) 气体运输和储存过程中机械带入的金属杂质;3) 使用过程中外界环境引入的金属污染。这些金属杂质在气体中主要以0.1~20 μm悬浮颗粒或小于0.1 μm的气溶胶形式存在。只有将气体中的颗粒通过分离进行排除,才能减少或消除金属杂质。然而,特种气体厂家出售费用,目前一般的过滤器的孔径***1小为0.2 μm,南昌特种气体,无法完全消除金属杂质。因此,建立气体中痕量金属杂质的检测方法,对高纯气体的生产、储存和运输等均具有指导意义。
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