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型号:SE-6 |
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分析探针台 |
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特点 |
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同轴驱动CHUCK |
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可以升级做射频测试 |
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20X~4000X 光学显微放大 |
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无后座力移动 |
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可以选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置 |
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规格 |
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真空吸附型Chuck |
6" 不锈钢 |
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Chuck X-Y轴行程 |
6" x6" |
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Chuck 旋转角度 |
0~360 度 |
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Chuck升降 |
4mm |
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针座平台 |
可以放置8个针座 |
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显微镜X-Y轴行程 |
2" x2" |
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需求 |
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电力 |
220 VAC, 60Hz |
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真空 |
-250 mmHg, 7 liter/min |
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尺寸 |
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920mm长 x 660mm宽 x 700mm高 (带显微镜) |
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重 100 Kg(带显微镜) |
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可选附件 |
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探针卡夹具 |
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高低温样品台 防震桌 |
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显微镜气动升降装置 |
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显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 |
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光强/波长测试接口部件 |
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低电流/电容测试 |
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高压测试 |
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CCD视频系统 |
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液晶漏电分析套装 |
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屏蔽箱 |
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大电流测试套件 镀金Chuck |
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