




深度提纯难度大,而纯度是电子气体质量***重要的指标。在芯片加工过程中,微小的气体纯净度差异将导致整个产品性能的降低甚至报废。电子气体纯度往往要求5N-6N级别,还要将金属元素净化到10-9级至10-12级。气体纯度每提高一个层次对纯化技术就提出了更高的要求,技术难度也将显著上升。以硅1烷为例,特种气体供应商,将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路。对于混合气体而言,混合配比的精度也是下游生产厂商关心的指标。气体纯化技术主要有吸附法、精馏法、膜分离法等。
特种气体兴起于60年代中期,作为基础化工材料,主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、***科学、临床诊断、医1药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展,石家庄特种气体,其应用范围也越来越广泛。
自80年代1开始,我国的气体工业迅速发展,特种气体厂商,各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世,其品种数目已与国外发达***水平相近。气体工业是国民经济基础工业之一,它涉及到国民经济的各个领域、涉及到人民的日常生活,牵动着高科技的发展。
特种气体:关于高纯CO及高纯CH4生产技术
(一)技术简介
该项技术利用化工、医1药等行业的各类废气资源生产高纯 CO 及高纯 CH4 技术,应用于特种气体领域。
(二)技术特点
1、产品纯度高
采用双塔精馏技术,克服变压吸附只能将纯度提至 99% 的行业技术难题。该技术是国内首套采用精馏装置生产高纯CO及 CH4的技术,能将 CO及 CH4产品纯度提高至 99.999%。
2、装置高度集成
装置采用 1台冷箱,同时具备生产高纯 CO及高纯 CH4 能力。
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