全氟橡胶(Perfluoroelastomer)
优点:
· ***佳耐热特性
· 优异的抗化学特性
· 低Outgassing 特性
· 优异之抗Pla***a特性
缺点:
· 耐低温特性较差
· 原料价格较高
· 生产难度较高 · 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
形圈硬度的选择是比较重要的。如某电站水泵水轮机硬度为70(Shore)密封圈,常常剥落,甚至横向切断,后采用85~90(Shore)的密封圈,效果理想。
硬度低,安装方便,但容易出现剥落、安装损伤、挤出甚至压力***。硬度过高,安装不方便。
通常O形圈硬度40~90 IRHD,但在使用中一般70 IRHD是比较合适的,对于硅橡胶是例外,一般使用60 IRHD。