中科院RFG射频电源与SP自动匹配器

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作为中科院微电子所***新一代晶体管射频电源(RFG系列)：
1.控制方式更灵活：全数字面板/模拟口/RS232/RS485/USB控制
2.使用寿命更长,功率控制更精密,功率输出更稳定,频率精度更高
3.真彩色大屏幕液晶显示正向功率反向功率
4.***低可实现1W的稳定功率输出
5.开机无需预热
6.具有外部时钟同步(CEX)功能，可同步多台电源并克服之间的相互干扰

中科院SP型自动匹配器产品特点及主要性能指标：

　　　　1、自动快速调节匹配网络

　　　　2、实时显示入射功率及反射功率变化，   指示精度 3%

　　　　3、显示自偏压

　　　　4、实时显示电容位置变化，可明显展示工艺阻抗变化的特征

　　　　5、采用真空电容调节（1KW以上）

　　　　6、具有自动控制和手动控制两种模式

　　　　7、电压输入: 220v

　　　　8、提供配合射频电源的反射功率保护信号，与射频电源配合使用

　　　　9、直流电机驱动，保证运行期间合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性

***微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。

从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（***02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。

经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。

目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。

射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，感应加热，***领域的消毒与***，等离子清洗等领域。

产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司，得到用户的一致好评。