TONiC雷尼绍RENISHAW光栅尺
TONiC是RENISHAW一种超小型光栅产品，可读取各种20 μm栅距
栅尺。其主要特征是IN-TRAC™参考零位，只需轻按按钮即
可自动调相，十分独特。TONiC系统包含读数头、模拟量或
数字量接口，以及直线或者圆形增量式光栅。直线栅尺包括
RGSZ轻薄型镀金栅尺、RELM ZeroMet栅尺、RSLM不锈
钢栅尺和RTLC-S自贴式钢带栅尺，同时也提供导轨安装型
FASTRACK RTLC直线光栅系统。圆光栅包括RE***不锈钢圆
光栅和超高精度REXM圆光栅。
工作原理……
TONiC采用雷尼绍***新一代的独特光学滤波装置，与
SiGNUM（第13页）采用的设计类似，但作了三大重要改进。
***，TONiC设计经过优化，信噪比有所提高。光学滤
波系统的这一改进加上精选的优质电子器件，大带宽增量信
号可达到10 m/s的***大速度，同时也是同类光栅中位置抖动
（噪声）***小的。事实上，TONiC接口内部的其他抗噪电子器
件进一步增强了高分辨率型TONiC的抗噪功能，抖动水平仅为
0.51 nm RMS。
第二大改进就是开发出了完全集成的参考零位。如图所
示，现在参考零位分离式探测器直接嵌入增量码道线性光电二
极管阵列的中心，从而尽量避免出现扭摆失相。
TONiC的第三个改进是将***动态信号调节功能完全集成
到读数头中，也就是说可以直接从读数头获得经过彻底处理的
信号，该信号通过自动增益控制和自动偏置控制功能进行优化
获得非常低的SDE (&plu***n;30 nm)。
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