一、ANT95-L系列纳米级精密***平台
优点：
非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程
1：高分辨率1nm
2：重复***精度&plu***n;25nm
3：***精度 &plu***n;250nm
4：行程25-50mm
交叉滚柱轴承专利设计
可以提供X,XY,XYZ等多种组合。可以实现1nm的***小步进。
二、ANT130-L系列纳米级精密***平台
优点：
非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程35-160mm
1：高分辨率1nm
2：重复***精度&plu***n;25nm
3：***精度 &plu***n;250nm
4：行程35-160mm
交叉滚柱轴承专利设计
可以提供X,XY,XYZ等多种组合。可以实现1nm的***小步进。
三、Z轴运动平台
ANT95-L-Z 与ANT130-L-Z系列纳米级精密***平台
优点：
非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程25-60mm
1：高分辨率2nm
2：重复***精度&plu***n;75nm
3：***精度 &plu***n;300nm
4：行程25-60mm
交叉滚柱轴承专利设计
可以实现2nm的***小步进。
四、纳米垂直升降台
垂直升降，非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，行程3-5mm
1：高分辨率1nm
2：重复***精度&plu***n;75nm
3：***精度 &plu***n;200nm
4：行程3-5mm
交叉滚柱轴承专利设计
可以实现1nm的***小步进。
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于洪超 15801124623
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