气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质，
等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或郭的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光，等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，达到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有机物，以及其它化学物质，从而达到表面处理、清洗和刻蚀效果，经过等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性。
真空离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔休、机械等几个部分组成，可以根据客户的特殊要求定制符合客户需要的真空系统，真空室。
真空离子清洗机广泛应用于表面去油及清洗等离子刻蚀，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等工序，因此又应用于汽车电子领域、***电子领域、PCB制成行业等高精密度领域。