***高纯度制氮机的基本组成
***高纯度制氮机由空压机、压缩空气净化系统、氧氮分离（PSA）系统、氮气缓冲系统、气体过滤系统及电气控制系统组成
(1)空压机，空气压缩机采用螺杆式，内含冷冻干燥器和过滤器，对压缩空气在进入制氮机之前进行预处理，除去压缩空气中大部分水分和***。
(2)压缩空气净化系统，其由二级过滤器、除油器、空气储罐组成。其中，二级过滤器作用是除去空气中的尘埃和水等，为氧氮分离系统提供洁净空气；除油器置于空气储罐内，其作用除去压缩空气中的油，防止污染分子筛；空气储罐的作用是保证氧氮分离系统的平稳，而部分处理过的洁净空气可引为仪表气或驱动气阀之用。
(3)氧氮分离（PSA）系统，其由二个交替工作的吸附塔（内置分子筛）和气动阀、减压阀、调节阀及消声器等组成。根据碳分子筛对空气中氧组分的选择吸附特性，在加压吸附和***脱附过程中实现氮氧分离。
(4)氮气缓冲系统，由缓冲罐、流量计、调压阀、节流阀、电磁阀及氮气纯度分析仪等组成，其作用使输出氮气的压力、纯度及流量保持稳定。同时，在吸附塔开始升压吸附时，缓冲罐内的一部分气体回充到吸附塔中，提高吸附塔的压力，并将未完全吸附的气体赶到塔底部，经过进一步的吸附后再注入缓冲罐。而经在位氮气纯度分析仪测定氮气纯度，并将信号反馈到控制元件。
(5)气体过滤系统，其采用二级无菌过滤，使氮气产品达到GMP或相应工艺要求。
(6)电气控制系统，由可编程控制器、触摸屏、气动控制元件及仪表等组成，用于监视设备相应的运行，特别是变压吸附过程均由可编程控制器按程序控制电磁阀，并由相应电磁阀控制相应的气动阀达到自动运行。