激光镭射修复机

1. 机台简介 本规格书为关于鼎朝科技镭富自动化出产且针对TFT-LCD 面板设计之镭射修补系统。本设备搭载HOYA 镭射系统(含Laser Head、Laser Controller)、精密光学影像系统(镭射加工/观测专用显微镜、镭射加工专用光学物镜、影像观测物镜)、X/Y/Z 马达驱动系统、电控系统、气压制震系统(可选配)、精密钢构底座及设备安全外罩(可选配)等所組成。本设备可针对工件特定材质层进行短路缺陷修补处理。加工件为采用人工模式取放。 2. 面版尺寸 CELL SIZE:37"(1240mm x 740mm) 入料方式:长边入料 ※参考规格,依客戶提出产品尺寸确认 3. 机台规格 3-1 X/Y/Z轴驱动系统 项目 说明 X、Y轴有效行程 1250mm x 900mm X、Y轴驱动形式 伺服马达系统搭配精密螺桿 X/Y轴***小解析度 1um/pulse 重现性 ≦±5 um Z轴***大行程 150mm Z轴驱动形式 伺服马达系统搭配精密螺桿 Z轴***小解析度 0.1um/pulse (依实际设计配置为准) 3-2 镭射发振器 项目 说明 镭射种类 ND:YAG Laser 镭射波长 1064nm 镭射功率(***大輸出) 1064nm:5mJ/pulse ***大Peak Power 1064nm:0.7mW 1064波幅 8-6nsec 发振频率 1-20Hz 冷卻方法 水冷式 输出能量控制 512 steps for 0-100%※Hi/Low switch-able Flash Lamp Life time 1年或大于1000000shots 镭射发振器保固期 1年 介面 RS-232 (依实际镭射配置规格为准) 3-3 Laser Slit 项目 说明 物镜倍率 加工尺寸 修补尺寸 NIR 50x 物镜 min: 3um x3um NIR 20x 物镜 max: 120um x 120um 3-4 光学影像系统 项目 说明 显微镜 观测/镭射加工专用型 CCD 1/2”Color CCD 落射光源 高亮度卤素光源系统(100W) 透射光源 高亮度卤素光源系统(150W) Guide Light 高亮度卤素光源系统(100W) 物镜切换系统 4孔/电动切换式(线性) 3-5 精密物镜组 项目 说明 M Plan APO 5 x 观察 M Plan APO 10 x 观察 M Plan NIR 20 x 观察/镭射加工 M Plan NIR 50 x 观察/镭射加工 3-6 自动对焦系统 项目 说明 对焦类型 手动式对焦 3-7 加工载台 项目 说明 主要功能 工件承载使用 材质 精密研磨光学玻璃平台(Glass Stage) 尺寸 1240mm x 740mm 底座 精密钢构底座 3-8 避震系统 项目 说明 避震形式 气压式避震 自然频率(垂直/水平) 2~2.3 Hz 厂家供气规格 4~6 kg/㎠ (Compressed or Nitrogen Gas） (设备需求地板防震等级：B 等级) ATS LR2200M using in SEMI standard vibration spec V.C.B. as below. Should meet the following condition even when operating surrounding equipments 3-9 PC规格 项目 说明 PC 业级电脑(IPC) CPU 2.4G Hz OS Windows System HD 500G *1 RAM 2G Language 繁中 Monitor 19’’ Key Board ATS-STANDARD Mouse ATS-STANDARD 3-10 其它规格 项目 说明 背光箱 寻找亮点缺陷之光源灯箱 4. 操作模式 4-1 软体功能 (1) 镭射巨集模式操作功能 提供 Point / Line / Block 三种雷射加工模式，将Recipe 中的镭射参数，依使用者 在画面中教导预修补的路径与型式，教导完后作一次性的快速修补 (2) 镭射手动操作击发功能 (3) 快速荧幕画面滑鼠点击移动 (4) Recipe 存档功能 提供有关镭射参数/基板参数 Recipe 存档功能 (5) 滑鼠拉框开启Slit 功能 利用滑鼠在荧幕上做拉框的动作直接开启Laser 对应的Slit 大小 (6) 使用者登入/登出 (权限管理) (7) 上下光源手动调整 (8) 上下光源配合各倍率设定自动调整 (9) 基本量测工具 (10) 图片Image 存档功能 (11) 镜头切换自动校正功能 (12) 影像参数设定功能 a. 明亮度设定 b. 对比度设定 c. 饱和度设定 d. 对比度设定 (13)操作语系选择 a. 繁中 b. 英 4-2 项目 说明 手动操作模式 操作人员可利用滑鼠、透过系统画面确认 5. 公用设备 5-1 电源 项目 说明 组数 1 组 电源 3 phase /AC 220 V ± 10%, 30A 电源接头 M6 端子台 接地线 JIS 等级1, 8mmsq 以上 5-2 Vacuum 项目 说明 组数 1 组 气压 -500mm Hg 流量 100L /Min 接头 8mm Swagelok 5-3 CDA 项目 说明 组数 2 组 气压 5 Kg / cm2 流量 100L /Min 接头 8mm Swagelok 6. 外观 项目 说明 尺寸 Within 2320mm(W) x 2160mm(D) x 2000mm(H) 重量 Within 1.2T (依据实际设计尺吋为准) 7. 安全外罩 1) 外框架颜色 : 标准色 2) 外罩颜色 : 标准色 8. 使用环境 项目 说明 Temperature 20-26 C Humidity 30-70% (No dew drop is allowed) Clean level Class 10,000 9. 保固期限 验收后提供18个月保固服务(不包含消耗备品)。 <机台保固范围不包含以下例外状况所造成之损坏或异常> ・ 因疏失的人为操作而导致故障。 ・ 因天然灾害而导致故障。 ・ 因客戶之改造、解体、移设或修理而导致故障。