RTP快速退火炉的主要技术参数如下
加热元件：卤素电极；
电极数量：12支；
整机功率：7.2KW；
升温速率：200℃/Second；
降温速率：30秒(1000℃ → 400℃)；
***高温度：1100℃；
温度精度：+/- 1℃；
***大样品尺寸：4英寸；
气氛环境：真空、气体（氮气、***气、氧气）、空气；
真空系统：可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵
整机功率：7.2KW；
升温速率：200℃/Second；
降温速率：30秒(1000℃ → 400℃)；
***高温度：1100℃；
温度精度：+/- 1℃；
***大样品尺寸：4英寸；
气氛环境：真空、气体（氮气、***气、氧气）、空气；
真空系统：可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵
应用领域：
-快速热退火
- 快速热氧化
- 快速热氮化
- 硅化
- 扩散
- 化合物半导体退火
- 离子注入后退火
- 电极合金化
- 晶向化和坚化
- 合金熔点分析;
- 薄膜沉积; 等等…
-快速热退火
- 快速热氧化
- 快速热氮化
- 硅化
- 扩散
- 化合物半导体退火
- 离子注入后退火
- 电极合金化
- 晶向化和坚化
- 合金熔点分析;
- 薄膜沉积; 等等…
欲了解更多关于RTP快速退火炉的详情可致电：13837189935