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特种气体:高纯氯1气

高纯氯1气制取方法

高纯氯的生产方法仍以工业氯为原料，吸附净化。工业液1氯中的杂质含量较多，欲制得高纯氯必须把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，除H2O外其余杂质的沸点均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；冷凝分离法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不仅剧1毒，且具有强氧化、强腐蚀的异常活泼的化学性质，哪里有特种气体，除少数稀有气体外，几乎能与所有元素形成化合物。因此要筛选不受氯腐蚀、不与氯起化学反应的干燥剂、吸附剂，以及这些吸附剂的化学处理、再生等。

特种气体系统的设计与施工

供气系统的选择

常规供气系统

常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省***。

特种气体采用普通钢瓶（lt;50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等。

特种气体管道试压

1、试压前将不能与管道一起试压的设备及压力系统不同的管道系统用盲板隔离，应将不宜与管道系统一起试压的管道附件拆除。临时装上短管。

2、管道上所有开口应封闭，系统内的阀门应开启;系统***1高点应设放气阀，***1低点应设排水阀。

3、试压时，应用精度等级1.5级以上的压力标2只，常州特种气体，表的量程应为***1大被测压力的1.5~2倍，一只装在试压泵出口，另一只装在本系统压力波动较小的其他位置。