真空技术在冶金、化工、轻工、食品、医药等领域得到了十分广泛的应用,在太阳能光伏产业不断升温的大环境下,太阳能光伏产业属于***鼓励发展的新能源与可再生能源产业,符合***产业导向,半导体设备厂商也迎来了新的发展机遇。在大规模集成电路和太阳能光伏的发展中,单晶炉是硅材料制备的关键设备,在产业链中具有举足轻重的地位。单晶炉真空阀是单晶硅制造生长过程的工艺设备中必不可少的控制装置。科本真空阀门***生产的单晶炉真空球阀的法兰标准有两种:活套真空法兰:GB/T6070和真空快卸法兰:GB4982。
单晶炉真空阀的特点和使用范围
单晶炉真空阀的结构通常为直通式单晶炉真空球阀,阀门驱动方式有适用于手动、气动和电动。靠球面密封,因而既能用在真空状态下,也能在低压状态下使用。并可以任意位置安装。
单晶炉真空阀适用的工作介质为带酸、碱性的气体或液体。
阀体材料:304不锈钢 连接方式:法兰连接