CCD型电动超高真空插板阀是通过电动装置驱动阀杆带动阀板作上下运动,达到真空阀门的开启或关闭目的,从而接通或切断真空管路中的气流。CCD型电动超高真空插板阀适用介质为纯净空气或非腐蚀性气体。CCD型电动超高真空插板阀带反馈信号装置。
主要技术性能
插板阀适用范围: 105~1.3x10-7Pa(DN≤200); 105~6.7x10-7Pa(DN≥250)
插板阀阀门漏率: ≤6.7x10-8 Pa.L/S(DN≤200); ≤1.3x10-7 Pa.L/S((DN≥250)
插板阀适用温度: -30~+150℃
插板阀开启压差: ≤2.7x103 Pa.
插板阀电源电压: 220V/50Hz
插板阀安装状态: 任意
主要零件材料:
阀体、阀板:不锈钢
密封件:氟橡胶、波纹管(轴封)
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