特性
--紫外波段灵敏度高（量子效率：200 nm处为40 %，250 nm 处为30 %）
--4.65 µm 小象元尺寸，1344×1024像素的超高分辨率
--连续扫描隔行读出，无机械快门
--低读出噪声设计（典型值14电子）
--带垂直溢漏结构的抗高光溢出功能
--12位数字化
--模拟对比度增强
应用
--准分子KrF (248nm)、 ArF (193nm)激光束诊断
--准分子KrF (248nm)、 ArF (193nm)激光紫外成像
--半导体掩模对准
--紫外光学研发
--普通的紫外成像
--紫外测量
--平板印刷技术
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产品型号 |
C8484-16C |
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成像设备 |
带微透镜的连续扫描隔行CCD |
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有效像素数 |
1344 (H)×1024 (V) |
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像素尺寸 |
4.65 μm (H)×4.65 μm (V) |
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有效面积 |
6.25 mm (H)×4.76 mm (V)/ 1/2 英寸 |
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读出速度 |
11.9 帧/ 秒 |
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读出噪声 |
14电子rms（典型值） |
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***时间 |
12.4 μs~1 s |
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动态范围 |
778:1 |
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模拟增益 |
1×, 5× |
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子阵列 |
1344 (H)×8~1024 (V) (按8行递增) |
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拼接（binning） |
2×2, 4×4 |
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外部触发输入 |
支持 |
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接口 |
Camera Link |
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A/D转换器 |
12位 |
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镜头卡口 |
C卡口 |
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电源 |
DC+12 V |
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功耗 |
10W |
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环境存储温度 |
-10 °C到+ 50 °C |
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环境工作温度 |
+10 ℃到+ 40 °C |
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环境工作湿度 |
无凝结下***大70 % |