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能力 |
数值 |
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X, Y方向运动距离，精度 |
+/-6mm； |
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Z方向精度 |
+/-0.5微米 |
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Theta; 精度 |
+/-3°；0.001° |
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光罩旋转 |
+/-15° |
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控制方式 |
软件控制，多种工艺参数可自行设定 |
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卡盘移动控制 |
电子杆 |
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光刻模式 |
靠近、软接、硬接和真空接触 |
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预对准能力 |
X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5° |
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精对准能力 |
小于1微米 |
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光罩尺寸 |
***大 14”×14” |
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适用的样品尺寸 |
50 ～ 300mm |
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光源选择 |
近紫外，中紫外和深紫外 |
