应用:
MR200划片机用于高精度的晶片划片切割, 在半导体领域是不可或缺的工具, 特别是REM的制备领域。MR200也广泛用于Chip的切割。
技术参数:
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整体性紧凑外形设计
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长宽高:400*800*600mm
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重量:20kg
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电磁划线电力(气动划线电力为了更高的划线能力)
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脚踏控制金刚刀
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可调的功率(35g~120g, 其他要求可以提供)
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划片宽度5~10um(与功率和材料有关)
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升降速度可调
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金刚石刀高度可调
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金刚石刀角度可调
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无级调解的高质量变焦显微镜,放大倍数8~40倍
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目镜可根据晶片的边缘、结构和基准标记等***调解划刀
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在放大10倍时,光学分辨率好于10um
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带有聚四氟乙烯涂层的真空晶片夹,装载在X/Y工作台,直径200mm
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晶片夹通过测微旋钮进行角度微调(10um=0.006度)
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无需切断真空,进行精准的90度旋转
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可调节的制动器用于90度晶片夹制动
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手动x/y工作台,冲程(205*205mm)
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10mm测微旋钮用于精准***
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LED灯
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***小样品尺寸10*10mm
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晶片厚度:对硅片而言所有标准的厚度都可以
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可切的材料:硅片,蓝宝石及其他
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视频系统(可以配备图像处理软件)是可选的附件
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带有更高放大倍数或分辨率的光学部件可以选择