蓝宝石(Sapphire)单晶基片
蓝宝石(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)单晶是一种***的多功能材料。它耐高温,导热好,硬度高,透红外,化学稳定性好。广泛用于工业、国防和科研的多个领域(如耐高温红外窗口等)。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料,是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的***基片(需首先在蓝宝石基片上外延氮化***薄膜),也是重要的超导薄膜基片。除了可制作Y-系,La-系等高温超导薄膜外,还可用于生长新型实用MgB2(二硼化镁)超导薄膜(通常单晶基片在MgB2 薄膜的制作过程中会受到化学腐蚀)。
晶体主要参数:
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晶系 |
六方晶系 |
晶格常数( ) |
a=4.748 c=12.97 |
熔点(℃)
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2040
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密度(g/cm3)
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3.98
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比热(cal/g℃)
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0.181
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莫氏硬度
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9
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热膨胀系数(/℃)
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5.8x10-6
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介电常数
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13.2 (⊥c方向)
11.4 (∥c方向)
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热导率(卡/度 厘米 秒) |
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⊥c
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∥c
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23℃
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0.055
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26℃ 0.060
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77℃
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0.040
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70℃ 0.041
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特点
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适于制作GaN及MgB2薄膜
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切向
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<10-10> <1-102> <11-20> <0001> 等
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基片规格: |
尺寸: |
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20, |
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″等 |
厚度: |
0.5mm,1.0mm |
表面抛光: |
单面或双面 |
晶面定向精度: |
&plu***n;0.5° |
边缘定向精度: |
2°(特殊要求可达1°以内) |
斜切晶片: |
可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°~ 45°)的晶片 |
Ra: |
≤5Å(5µm×5µm) |
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