Seeyu系列设备是一款类金刚石涂层中高品质、不含氢类金刚石膜层ta-C的PVD涂层设备。在技术上,Seeyu采用过滤型阴极弧离子源和磁控溅射作为等离子体发射源,配合以具有世界***水准的设计和工艺,从而确保涂层产品的高品质。Seeyu系列涂层设备所生产的涂层产品可应用于***工模具之上,也可应用于有***耐磨性要求和自润滑要求的零件之上。
Seeyu系列涂层设备具有良好稳定性和高度自动化程度,带有成熟的ta-C涂层工艺。开放式的用户界面也为用户根据自身要求***开发工艺提供了可行性。
技术特点:
● PVD沉积技术:过滤型阴极弧离子源和磁控溅射
● 0.1um~2um厚ta-C涂层工艺
● 涂层沉积工艺气体:Ar
● 控制方式:PLC加工业PC全自动控制
典型应用:
● 有色金属、石墨、亚克力等材料的切削刀具
● 高精密镜面模具
● 半导体封装模具
● 自润滑耐磨零件