***气纯化循环设备
一、原理说明:
***气是大规模工业生产单晶硅,手套箱的保护气,它的要求之高,是控制经营成本必须重视的一个重要方面。
将排出含有杂质的***气,除去固体杂质,经缓冲罐进入***气压缩机升压,,经***气纯化设备。采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂,在一定温度下,吸气剂可于***气中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体,从而达到对***气精制的目的。***后将净化后的***气送入使用地点.
二、设备构成:
1 过滤器
2 压缩机
3 ***气纯化
6 电气控制箱
三、技术保障措施;
1 组合式过滤工艺,分级处理。
2***气纯化采用特殊结构和装料方法,流速设计合理,气流分布均匀。
3***气纯化采用特殊设计的加热构造,加热均匀、稳定。
4 采用优质管件,阀门,避免管道和阀门影响气体质量。
5 采用优质的电器元件和控制仪表,保证温度稳定,减少温度和影响。
6***气纯化的活化程序,严格按照活化程序执行,根据现场实际情况适当调整。
7 对用户的操作员进行设备操作培训,了解设备工作原理,掌握设备操作方法,熟悉设备的开车、停车、停电、停水处理方法。