a、工作原理
本装置是六氟化硫通过质量流量控制器调节,加入二氧化碳中(二氧化碳也可通过另一质量流量控制器进行流量检测和控制),获得稳定的具有一定比例的六氟化硫与二氧化碳混合气,可按需调整。
本装置采用了PLC可编程控制器,触摸屏,质量流量控制器,六氟化硫分析仪等自动化器件,使系统具有很高的自动化水平。能够达到自动调节进气的六氟化硫流量,同时具有混合气不达标自动报警和自动通断功能,。加入压力变送器,能够实现,二氧化碳和六氟化硫入口处的低压报警。
结构原理见流程图。
b、主要技术指标
1、原料气
六氟化硫压力 0.2Mpa≤P≤0.7Mpa
二氧化碳压力 0.2Mpa≤P≤0.7Mpa
2、工作压力 ≤0.2—0.6MPa(可调)
3、混合气流量 0-5m3/h(可调)
混合气含六氟化硫量 0-2%(可调)
4、气体出口温度 50℃(混合气体有5个6出气阀)
5、装机功率 2KW
6、电源 220V、50HZ
7、设备重量 约300Kg
8、外型尺寸 1000×1000×1800