Spin Processor匀胶旋涂仪
MYCRO公司提供美国原装进口匀胶旋涂仪，请您放心选购！
MYCRO美国原装进口的旋涂仪，自1985年开始，我们便为提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺。公司拥有WS系列各类旋转涂敷系统，目前客户已遍布***。
匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机/旋转涂层仪、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机 旋涂仪
自1985 年起，我们向遍布***的生***工和半导体材料科研领域的实验室提供表面涂敷工艺的解决方案，目前，全世界有超过12000套系统正在安全运行。
适用旋涂材料的尺寸范围
WS-650-23 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm 6英寸（150mm）直径圆片或5x5英寸（125mm）边长方片
WS-650-8 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm8英寸（200mm）直径圆片或7x7英寸（175mm）边长方片
WS-650-15 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm12英寸（300mm）直径圆片或9x9英寸（225mm）边长方片
WS-650-X 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm可根据用户特殊要求订制设备
可选择三种不同的安装构造:
***流行的Table Top型可自由放置在实验台面上
OND型，带远程控制器可用于手套箱等封闭环境
IND型，带远程控制器可用于WetStation湿法处理环境
高性能马达驱动
旋转控制
Mz型高精度旋涂用马达
转速范围:50~12000RPM （注 50RPM是***小稳定转速）
***大加速度:13000RPM/S;
转速误差:＜&plu***n;0.5RPM @8000RPM NIST标准认证；
匀胶均匀性:＜1% @6 inch Wafer
安全设计
保护气流构造
旋涂过程中可以充氮气和***气,对旋转马达进***流保护 ;
防止飞片设计
嵌锁的安全盖板;盖板锁定后才可以启动旋涂作业; 电子绝缘负载双保护;
防腐构造设计;
新一代650型高性能数显控制器。非常方便设定处理速度和加速度程序段；可设置顺序循环控制;控制精度
数显控制器采用高位计数光学编码器输出,高精度密封循环伺服控制器,经美国***标准研究院NIST认证,实时显示精度控制在设定值的0.006%以内(美国NIST激光测量器件的极限值)。系统无需重复校准!
操作者可随时随地自由实现人机交互；
设备运转进程中,可随意向前,向后或者往返跳跃操作步骤；
循环指令,并可以重复操作(多达255次)；
在运转模式下也可以实时改变速度和加速度；
包含PC程序端接口；
可视化操作模型(化学***，传感器所见即所得的操作界面)；
故障报警装置(可形象显明故障发生位置)；
加速度的***小分辨率为 1 RPM/S；
宽广的速度设定范围(1~12000RPM)；
需要更详细的等离子体表面处理仪资料咨询，
请与迈可诺技术有限公司 中***销服务中心联系
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